薄膜・膜厚

薄膜・膜厚

エリプソメーター

マルチスペクトル・エリプソメーター(FS-1)

マルチスペクトル・エリプソメーター(FS-1)

新着ニュース 2023.01.26 【ウェビナーアーカイブ】マルチスペクトル(FS-1)と分光エリプソメトリー性能比較 “FS-1が実現した、明快な高精度膜厚計測” エリプソメーターを知り尽くした開発

観察前処理用コーティング装置

オスミウムコーティングシステム(Tennant20)

オスミウムコーティングシステム(Tennant20)

より安全に、使いやすさを追求した、新型オスミウムコーティングシステム 「Neoc-Pro」は「Tennant 20(テナント20)」へ メイワフォーシスは1997年に独自に開発した放電電極を採用

ネオオスミウムコータ (Neoc-Pro)

ネオオスミウムコータ (Neoc-Pro)

チャージアップのないアモルファス導電被膜を形成 プラズマCVDガス蒸着で、複雑構造試料もチャージ無く観察 Neocでは純粋なオスミウム金属被膜を製膜するために、プラズマCVD成膜法を採用。 プラズマC

カーボンコータ(CADE)

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新着ニュース 2022.11.22 オスミウムコーター海外導入事例 ミシガン州立大学ユーザー最新インタビュー初公開!ウェビナーを開催 蒸着源は超高純度(99.995%)カーボンファイバーでSEM観察、

高性能スパッタコーター(DSR1)

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分かりやすいタッチパネル式ディスプレイ膜厚計・サンプル回転ステージ標準搭載 2段、ダイレクトドライブ4m3 / h、ロータリーポンプ より細かい粒子構造を実現するためにコーティング速度を制御

高真空スパッタコーター(DST1-170)

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2インチマグネトロンカソード、80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター 高真空ターボポンプ 90L / s(Leybold) 精度1nm、分解能1Å の水晶厚モニター コーティング速度

熱蒸着機(DTT)

熱蒸着機(DTT)

薄膜を真空蒸着するためのターボ分子ポンプ式熱蒸着機 多層サーマルコーティング 大判チャンバー 高真空ターボポンプ 2 段ロータリーベーンパッキングポンプ(4 m3 / h) フルレンジ真空計

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