薄膜・膜厚

薄膜・膜厚

エリプソメーター

熱伝導率測定装置

熱伝導率測定デバイス(TCD-100V)

熱伝導率測定デバイス(TCD-100V)

ASTM D 5470に準拠 幅広い測定サンプル 測定データ解析 デモ受付中 熱伝導率の測定原理 Q=熱流A=表面積K=熱伝導率ΔT=(Ta-Td)メーターバー間の温度差dA=メーターバー内の温度セン

観察前処理用コーティング装置

オスミウムコーティングシステム(Tennant20)

オスミウムコーティングシステム(Tennant20)

より安全に、使いやすさを追求した、新型オスミウムコーティングシステム 「Neoc-Pro」は「Tennant 20(テナント20)」へ メイワフォーシスは1997年に独自に開発した放電電極を採用

ネオオスミウムコータ (Neoc-Pro)

ネオオスミウムコータ (Neoc-Pro)

チャージアップのないアモルファス導電被膜を形成 プラズマCVDガス蒸着で、複雑構造試料もチャージ無く観察 Neocでは純粋なオスミウム金属被膜を製膜するために、プラズマCVD成膜法を採用。 プラズマC

カーボンコータ(CADE)

カーボンコータ(CADE)

蒸着源は超高純度(99.995%)カーボンファイバーでSEM観察、EDS分析、FIB保護膜など各種分析に最適

高性能スパッタコーター(DSR1)

高性能スパッタコーター(DSR1)

分かりやすいタッチパネル式ディスプレイ膜厚計・サンプル回転ステージ標準搭載 2段、ダイレクトドライブ4m3 / h、ロータリーポンプ より細かい粒子構造を実現するためにコーティング速度を制御

高真空スパッタコーター(DST1-170)

高真空スパッタコーター(DST1-170)

2インチマグネトロンカソード、80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター 高真空ターボポンプ 90L / s(Leybold) 精度1nm、分解能1Å の水晶厚モニター コーティング速度

熱蒸着機(DTT)

熱蒸着機(DTT)

薄膜を真空蒸着するためのターボ分子ポンプ式熱蒸着機 多層サーマルコーティング 大判チャンバー 高真空ターボポンプ 2 段ロータリーベーンパッキングポンプ(4 m3 / h) フルレンジ真空計

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