マテリアルサイエンス
バイオサイエンス
エコサイエンス
薄膜・膜厚
エリプソメーター
マルチスペクトル・エリプソメーター(FS-4 / FS-8)
最大8波長に!最新のLED光源で様々なサンプルに対応 LED光源と特許所得技術で、高精度かつ簡便なエリプソメトリー解析を実現 FS-4 / FS-8が採用するマルチLED光源と特許取得の新MWE技術
熱伝導率測定装置
熱伝導率測定デバイス(TCD-100V)
ASTM D 5470に準拠 幅広い測定サンプル 測定データ解析 デモ受付中 熱伝導率の測定原理 Q=熱流A=表面積K=熱伝導率ΔT=(Ta-Td)メーターバー間の温度差dA=メーターバー内の温度セン
観察前処理用コーティング装置
オスミウムコーティングシステム(Tennant20)
より安全に、使いやすさを追求した、新型オスミウムコーティングシステム 「Neoc-Pro」は「Tennant 20(テナント20)」へ メイワフォーシスは1997年に独自に開発した放電電極を採用
ネオオスミウムコータ (Neoc-Pro)
チャージアップのないアモルファス導電被膜を形成 プラズマCVDガス蒸着で、複雑構造試料もチャージ無く観察 Neocでは純粋なオスミウム金属被膜を製膜するために、プラズマCVD成膜法を採用。 プラズマC
カーボンコータ(CADE)
蒸着源は超高純度(99.995%)カーボンファイバーでSEM観察、EDS分析、FIB保護膜など各種分析に最適
高性能スパッタコーター(DSR1)
分かりやすいタッチパネル式ディスプレイ膜厚計・サンプル回転ステージ標準搭載 2段、ダイレクトドライブ4m3 / h、ロータリーポンプ より細かい粒子構造を実現するためにコーティング速度を制御
高真空スパッタコーター(DST1-170)
2インチマグネトロンカソード、80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター 高真空ターボポンプ 90L / s(Leybold) 精度1nm、分解能1Å の水晶厚モニター コーティング速度
熱蒸着機付き 卓上パルスレーザーデポジションシステム (PLD-T)
2インチマグネトロンカソード、80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター 回転速度を調整できるターゲットマニピュレーター 3つの熱源 リアルタイム膜厚計(精度1 nm) 直感的なタッチス
熱蒸着機(DTT)
薄膜を真空蒸着するためのターボ分子ポンプ式熱蒸着機 多層サーマルコーティング 大判チャンバー 高真空ターボポンプ 2 段ロータリーベーンパッキングポンプ(4 m3 / h) フルレンジ真空計