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エッチング・クリーニング
エッチング・クリーニング・親水化処理
ソフトプラズマエッチング装置 (SEDE)
親水化やクリーニングをダメージなく処理 PDMSも簡単に接着 高出力モデルが新登場！高効率なドライエッチングが可能に CF4を利用した高出力ドライエッチング SEDE-PHLはCF4ガスを導入し、10
UVオゾンクリーナー plus (PC-450)
省スペース（B5サイズ以下） リーク不要・簡単操作！ 各種素材の親水化処理・クリーニング・表面改質・UV滅菌ができます。 高出力・ワイドエリアUVオゾン処理により（照射範囲：101×101㎜）、短時間
