オスミウムコーティングシステム(Tennant20)
より安全に使いやすさを追求した、新型オスミウムコーター
「Neoc-Pro」は「Tennant20（テナント20）」へ
メイワフォーシスは1997年に独自に開発した放電電極を採用した、スパッターコーティング、プラズマCVD、親水化処理機能が付いた【マルチ対応型コーター】を発売開始しました。それから20年余り改良を繰り返し、特殊電極により、負グロー相領域が格段に拡大された「ネオオスミウムコーター Neocシリーズ」を開発しました。
これまでのスパッターコートを超える蒸着が可能となったNeocは、SEM観察だけではなく元素分析など他の解析にも応用ができるため、発売開始からこれまで、多方面のユーザー様に活用いただいております。
そして、2021年、より使いやすく、より安全にご使用いただきたいという信念に基づき、従前からの特長や性能は踏襲しつつ、より進化した新型オスミウムコーティングシステム「Tennant20」として一新いたしました。
使いやすさを追求した 新しいデザイン
蓋の上げ下げをしっかり行うためのハンドル形状、タッチスクリーンによるデジタルコミュニケーションと操作し易さを考慮した画面角度、アンプルの取り扱いをスムーズに行うための本体形状など、実験の動作とメンテナンス性を考慮してディティールにもこだわっています。
（プロダクトデザイナー 大沼 敦）
Tennant20 に込められた想い
「Tennant20」の製品名は、 1803年にオスミウムを発見したイギリスの科学者スミソン・テナントの名前が由来となっています。白金を王水に溶かした残留物から金属を見つけるという優れた方法に発見し、発見者としての地位を獲得されました。
私たちメイワフォーシスも科学者スミソン・テナントのように、優れた技術を見つけ出し、「科学技術で未来を変える」ミッションのもとに、これからの科学技術に貢献し研究者の皆様に信頼を得られるよう「Tennant20」と想いを込めて名付けました。
Tennant20電力制御概要
Tennant20ではコーティング電流を入力設定した値に保つためにフィードバック制御を行っています。
コーティング電流は1/10000秒毎に測定して32ビットマイクロプロセッサにて解析、PID制御を基本に独自のアルゴリズムにて入力設定された電流値に近づくよう、コーティング電力を計算して放電回路の出力を調整しています。
これにより放電開始時の突入電流が制御され、再現性の高い成膜処理が可能となりました。
ユーザーフレンドリーな制御パネル
直感で操作のできる制御パネルを搭載し、初めてご使用いただく場合でも簡単に操作することが可能です。
ホーム画面の6項目から、目的の操作を選択できます。
ユーザーフレンドリーなインターフェースにより次の操作をガイドします。
Osアンプルが封入されている昇華筒の着脱操作モードです。アンプル交換作業も対話式操作で誰でも簡単に交換作業が可能です。
装置使用後の真空封止作業です。
チャンバー内を真空引き状態で保管管理します。
希望膜厚を入力するだけで操作完了します。真空引き、コーティング、ループコーティング（積層）、自動排気シーケンスまで自動動作で完了します。
コーティング条件をマニュアル制御できます。
ガス導入タイミング、コーティング時間、電流値を設定可能です。
使用者がいつどのような条件でコーティングを実施したか閲覧できます。また、昇華筒の脱着タイミングも併せてカウントし、昇華筒の交換履歴の確認も可能です。
連絡先、Q＆A、Pass設定、日付設定、
緊急操作が使用可能です。
アンプル交換時期を自動でお知らせ
オスミウムアンプルの交換タイミングは操作パネルで表示をいたします。
アンプル交換作業もインターフェースの操作フローに沿って、どなたでもスムーズに実施が可能となります。
パスワード機能で使用者を制限
パスコードによる使用者管理機能を搭載。権限を持つユーザーのみが操作可能なセキュリティ機能と管理機能を追加。パスコードを入力することで、操作履歴が自動メモリーされます。
使用状況を別途メモ記載することなく一括閲覧が可能となります。
オスミウムコーター専用 排気浄化システム
Os ガス専用浄化フィルター採用ロータリーポンプを完全収納しより安全な作業環境を作り上げます！
ダクトレス、2 段階フィルターを採用キャスター付きで容易に移動・設置可能です。陰圧構造の気流形成が有害物質の外部流出を完全に遮断し安全性を確保します。真空ポンプと繋がったフィルターの 1 段階浄化後、上部と右側のブロアーを用い、希釈と 2 段階浄化します。
Tennant20 主な特長
| タッチスクリーン制御 各パラメータがスクリーン表示 |
| コーティング条件のデジタル制御により安定放電を実現 |
| 電源OFF時の真空保持機能 |
| オートモード搭載（設定操作は膜厚とループ回数設定のみ） |
| チャンバーハンドル付きで開閉がスムーズに |
| 使用者制限パスワード機能 |
