ブロックフェースイメージングユニット Katana
SEMをSBF-SEMに
ブロックフェースイメージングユニットKatanaは、
SEMの真空チャンバー内に収まるように設計されており、
通常SEMに搭載することでSBF-SEM観察を⾏うことが可能な
ウルトラミクロトームです。
簡単に着脱できるユニバーサルな互換性
⾼さ、わずか56mm。
幅広いSEMに快適にフィットするように設計されています。すべての電⼦信号が単⼀のコネクタで配線され、SEMステージにシームレスに取り付け可能。
ユーザー視点の設計により、通常のSEMからSBF-SEMへ、迅速かつ⼿間のかからず移行できます。
ナノメートル精度を実現するミクロトーム技術
ピエゾによる超音波振動
•ピエゾによる超音波でダイヤモンドナイフを振動させ、カットの表面の質感を改善します。
•振幅はセンシングピエゾによって常に測定され、振幅最大170nm、周波数最大６０ｋHzまで調整可能です。
ナノメートル制御で再現性のあるミクロトーム
•ダイヤモンドナイフの動作は1nmピッチでコントロールが可能
•再現性の高いステッピングモーションを実現
•ナノ分解能のエンコーダーによりサンプルステージの位置を測定しドリフトを即座に補正します。
使いやすいキャリブレーション
•装置取り付け 最短30分
•高解像度CMOSカメラによりダイヤモンドナイフの位置を設定
トラッキング機能で、移動するダイヤモンドエッジが常に焦点を合わせ続けます。
高フレームレートのカメラにより、鮮明で低遅延のビューが得られます。
あらゆるSEM制御ソフトウェアと互換性
SBEMImage および SEMSupporter との統合。
複数の画像モダリティと簡単に統合して、相関ワークフローを作成します。
超高速モーターにより、各切断後にサンプルとブレードの間に数百ミクロンの隙間が確保され、ブロック表面に付着する破片が減少します。
搭載実績
FEI Quanta 200, FEI Quanta 250, FEI Helios NanoLab650,
Zeiss Sigma VP, Zeiss Merlin compact, Zeiss Merlin,
Zeiss Gemini 350TESCAN S8000, TESCAN S9000, TESCAN VEGA,TESCAN MIRA, TESCAN CLARA (GM chambers)JEOL JSM-7200F,
JEOL JSM-7800FHitachi SU7000
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