仕様 Katana
| 装置サイズ(WDH) | 135 x 66 x 56 mm |
| Z軸動作分解能 | 1 nm |
| ダイヤモンドナイフ 幅 | 1.5mm |
| ダイヤモンドナイフ振動周波数 | ０-60 k㎐ |
| 最小カッティング厚み | 25 nm(電子線の照射条件や求めるSEM像の 解像度により最適値が変わります) |
| Z軸動作範囲 | 1300 ㎛ |
| ダイヤモンドナイフ 振動幅 | 0-170 nm |
| 最小作動距離 | 3 mm(サンプルからBSEDまでの距離) |
| 搭載実績 | FEI Quanta 200, FEI Quanta 250, FEI Helios NanoLab650, Zeiss Sigma VP, Zeiss Merlin compact, Zeiss Merlin, Zeiss Gemini 350TESCAN S8000, TESCAN S9000, TESCAN VEGA, TESCAN MIRA, TESCAN CLARA (GM chambers)JEOL JSM-7200F, JEOL JSM-7800FHitachi SU7000 ※チャンバーサイズが合致すればメーカー問わず使用可能 |
