ターボポンプ式デスクスパッタ・カーボンコーター(DSCT)

金 、パラジウム 、白金 、金/パラジウム、酸化金属などの貴金属をスパッタリング

• 内蔵ターボ分子ポンプ90 L/s による高真空レベル (Leybold)
• 2段ロータリーベーンバックポンプ（ダイヤフラムおよびスクロールポンプ）
• 1 nmの精度と1 Åの分解能を備えた水晶厚さモニター
• スパッタリング用80W DCスイッチング電源
• カーボンファイバー蒸発ヘッド
• 2年間の保証
• CE適合性

走査型電子顕微鏡(SEM)サンプルの準備に

走査型電子顕微鏡(SEM)サンプルの準備に適した、交換可能なヘッドを備えた高真空スパッタコーターとカーボンコーターを1つの機器にまとめたものです。
このシステムは、金 (Au)、パラジウム (Pd)、白金 (Pt)、金/パラジウム (Au/Pd) などの貴金属、およびタングステンやクロムなどの酸化金属をスパッタリングできるほか、さまざまな炭素源 (ファイバーまたはロッド) を熱蒸着させて、非導電性または導電性の低い表面を持つサンプルにコーティングし、電子顕微鏡画像やその他の用途に使用できます。
この高真空SEM コーターは、 FE-SEM、EDS/WDS、TEM、 EBSDなどの高解像度と高品質の特性評価を必要とする試料に適した、微粒子サイズの高品質で均一なフィルムを提供します。2 インチのマグネトロン カソード、80 W スイッチング DC 電源、および炭素蒸発用の高電流電源を備えた DSCT は、研究やさまざまな薄膜アプリケーションに使用できます。

長時間のスパッタリング堆積に

DSCT には水冷カソードを装備できるため、長時間のスパッタリング堆積に適しています。また、DSCT には 160 W 電源を装備できるため、クロム、タングステン、その他の酸化金属ターゲットなどのターゲットのスパッタリングが容易になります (オプション)。

全自動スパッタリングおよびカーボンコーティングプロセスにより、簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンスが実現します。このモデルの基板の最大サイズは 4 インチです。

炭素蒸着

ミニサイズのコーティング システム モデル DSCT は、カーボン ファイバーまたはカーボンロッドを使用して、微粒子のカーボン コーティングを行い、さまざまな表面に均一な薄膜を生成できます。※オプション

選択可能なオプション機能

【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。

【カーボンロッド蒸着（オプション）】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸着用に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ～ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション

カラータッチスクリーンコントロール

自動制御とデータ入力を備えており真空およびコーティングシーケンス情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。

サンプルホルダー

ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダー装備できます。
標準サンプル回転ホルダーは、回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
プラネタリー サンプルホルダーは、多孔質試料の均一なコーティングに適しています。※オプション

新しい 4 インチ回転サンプルホルダーは、システム用に設計されており、堆積領域と実行時のコーティング スタブの数を増やします (最大 50 × 1 mm スタブにカスタマイズ可能) 。

　　　　　　　標準サンプルホルダー　　　プラネタリー サンプルホルダー　4インチ回転サンプルホルダー