ソフトエッチング装置 (SEDEシリーズ) 親水化やクリーニングをダメージなく処理 PDMSも簡単に接着 高出力モデルが新登場!高効率なドライエッチングが可能に CF4を利用した高出力ドライエッチング SEDE-PHLはCF4ガスを導入し、10