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エリプソメーター
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マルチスペクトル・エリプソメーター(FS-4 / FS-8)
最大8波長に!最新のLED光源で様々なサンプルに対応。高精度かつ簡便なエリプソメトリー解析

マルチスペクトル・エリプソメーター 全自動マッピングシステム(FS-RT300)
8波長の最新LED光源で様々なサンプルに対応 LED光源と特許所得技術で、高精度かつ簡便なエリプソメトリー解析を実現 FS-4 / FS-8が採用するマルチLED光源と特許取得のMWE技術 特許取得(