FS-RT300 自動膜厚マッピングモデル 製品紹介

エリプソメーターでは、各波長に対しプサイ(Ψ)とデルタ(Δ)の2つのパラメータしか測定できませんが、解析では屈折率 (n)、消衰係数(k)、膜厚(t)の3つのパラメータが必要です。従来は、同じ材料で膜厚が異なる複数のサンプルをマルチサンプル解析していますが、「液体セル」を使用することで、1つのサンプルでも「大気環境」と「溶液環境」の2環境条件でマルチサンプル解析をすることができるようになりました。

特に非常に薄い膜では、膜厚と屈折率が相関することは良く知られていますが、空気と溶液中のエリプソメトリー測定を組み合わせることで、この相関関係を解消することができ、非常に薄い膜でも正確な屈折率決定が可能となります。

液体セルを利用した薄膜計測

マルチスペクトルエリプソメーターの液体セルの性能と機能について紹介しています。液体セルを用いたアプリケーションは他にもありますが、このホワイトペーパーでは以下の2つの古典的なエリプソメトリック測定の問題に焦点を当てます。

1.10nm未満の透明膜の膜厚と屈折率の測定
2.吸収薄膜の膜厚とn&kの決定

Siウエハー上の自然酸化膜とTiN膜の測定事例と合わせてご紹介致します。

in situ測定時のビームアライメントは、大型のプロセスチャンバーやサンプルに反射光を「見る」ための光学アクセスが限られるチャンバーでは、難しい場合がありました。
新製品のin situ測定用自動アライメントシステムはビームの位置が決まるまでステージを自動で傾斜して探索します。

・10秒で光学経路調整と校正を自動で実行
・最大±4.5°で傾斜調整を実現

標準で1.33インチまたは2.75インチのコンフラットフランジに取り付け可能です。使用にはまた第3世代以降のエリプソメーターが必要となります。

Auto-Align in situ測定

紹介動画

FS-IS1 　in situアダプター

• 光源と検出機器の設置アダプター
• 標準で2.75”または1.33″のコンフラット真空フランジに接続可能
• 光軸の位置合わせ用チルトステージ調節が容易に可能
  

※上記画像には、in situ小型試料アライメント(FS-DT)が含まれております。

FS-F27 フォーカスレンズセット

フォーカスレンズを使用することで、サンプル上の照射サイズを0.55×1.3mmまたは、0.25×0.55mmから選択できます。
(ピンホール設定)

FS-1&QCM同時測定事例(溶液中)

別途、液中チャンバーをご用意いただくことで溶液中での測定にも対応します。上図はQCMシステムとドッキングさせて、1つのサンプル（デキストランの堆積）をQCMとエリプソの2手法で測定した事例です。