動画

ウェビナー動画公開中

過去に開催いたしました製品紹介ウェビナーの「アーカイブ動画」を公開しています。
アプリケーションのご紹介や、デモンストレーションなども実施しておりますので、どうぞご研究にお役立てください。

マルチスペクトル(FS-1)と分光エリプソメトリー性能比較 “FS-1が実現した、明快な高精度膜厚計測”ウェビナー(2023年1月26日開催)

膜厚測定の新常識であるマルチスペクトルエリプソメーター(FS-1)と、
従来の分光エリプソメトリーの性能を、ホワイトペーパー等を用いてわかりやすく比較し解説いたします。

FS-1マルチスペクトルエリプソメーターのご紹介 (応用編)~最新測定事例のご紹介と実機操作~(2021年6月2日開催)

130年前に考案されたエリプソメトリー技術は、非破壊・非接触でサブモノレイヤーから数μmの薄膜の膜厚や光学定数を高精度に計測可能です。本セミナーでは、近年飛躍的に発達したエリプソメトリーの中でも「高精度な測定」を「簡便な操作」でかつ「低コスト」を実現させた、FS-1 マルチスペクトルエリプソメーターとその最新の使用事例をご紹介致します。FS-1を通してエリプソメーターでin situやex situ測定、マッピング測定を行った使用事例と昨年リリースとなった赤外領域もしくは紫外領域のスペクトルを追加した新製品FS-1EX、FS-1UVについて紹介いたします。また、実際に装置を使用した薄膜測定も実施致します。

FS-1マルチスペクトルエリプソメーターのご紹介 (基本編)~FS-1で実現可能な測定と最新機種のご紹介~(2021年4月22日開催)

FS-1を通してエリプソメーターで実現可能な測定ケースや最新のin situ測定やマッピング測定について、昨年リリースとなった赤外領域・紫外領域のスペクトルを追加した新製品FS-1EX、FS-1UVと合わせて紹介をいたします。

特長、操作方法の紹介

原理説明 エリプソメトリーとは

自動膜厚マッピングモデル

FS-1(RT300)マルチスペクトル・エリプソメーター
マッピングモデル 製品紹介

FS-1 マルチスペクトル・エリプソメーター
in situ測定用自動アライメントアダプターシステム

新機能 「Model Builder」

モデルビルダーの動作解説動画

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