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カタログ
マルチスペクトル・エリプソメーター(FS-4 / FS-8)
ホワイトペーパー
プルロニック系界面活性剤によるフォトレジストの洗浄機構
液体セルを利用した薄膜計測
分光エリプソメトリー、干渉分光膜厚計との比較
他社製品との性能比較表
本資料では、弊社取り扱い製品である、マルチスペクトル・エリプソメーターと、他社2製品との性能を表で比較しています。
「価格」「測定方法」「測定波長範囲」「in situ測定」「測定制度」など、全7項目で詳細に評価しております。
性能比較表資料のご請求希望の方は、資料請求フォームより必要事項をご記入の上、ご請求願います。
