エリプソメーター

• 未知の膜が測定できますか？
• 多層膜の場合、同時に何層の膜厚が計測可能ですか？
• 金属膜も測れますか？
• 色がついたサンプルが測れますか？
• in situで測定する場合、高温でも測定できますか？
• 測定の精度とは具体的にどのような精度でしょうか
• 装置を設置するために必要な設備はありますか
• 測定しているのはサンプルのどの程度の面積の膜厚ですか
• サンプル毎に解析モデル構築の必要があるかと思いますが、そちらのサポート等はございますでしょうか
• in-situ測定では、成膜チャンバの窓材が測定器と測定対象膜との間に挿入されることになりますが、窓材における反射や屈折は測定に影響しないのでしょうか。
• 表面に凹凸があるものや、薄膜中に空隙があるサンプルでも測定できるのでしょうか