光学定数が不明な未知の膜でも、透明膜であれば膜厚と屈折率、消衰係数を同時に測定可能です。
光を吸収する膜の場合は、膜厚の異なるサンプルが2点以上あれば、膜厚、屈折率、消衰係数を同時に計測可能です。膜厚の異なるサンプルは、光学定数が同じ（コーティング条件が同じ）で膜厚の異なるサンプルです。膜厚は、一番厚いサンプルを100％とした場合、20-80％のサンプルでかつ10nm以上のサンプルが理想的です。