お客様の声

SEDEをお使いのユーザー様の生の声をご紹介

新田　高洋准教授
岐阜大学
工学部　電気電子・情報工学科　応用物理コース
ご使用装置：SEDE-P

装置導入の経緯を教えてください。
PDMS同士やPDMSとガラスの接合、基板の洗浄と親水化処理のために、ソフトプラズマエッチング装置（SEDE-P）を導入しました。

装置に対する評価を教えてください。
PDMS同士やPDMSとガラスの接合では、本装置は電極面積が大きいので一度に多くの試料を処理することができ、効率よく実験を行うことが出来ています。
また微細加工した基板を親水化処理することにより、気泡が入ることなく溶液を導入することが出来ています。

今後の研究ビジョンを教えてください。
生体分子モーターやソフトマテリアルを利用して、マイクロスケールのロボットやセンサーを開発していきます。

これまでSiのドライエッチングは共通設備の大型のエッチング装置を使用していたが、わざわざ使用しに行かねばならず、エッチングまでに時間もかかっていた。
卓上型で簡便に使えるドライエッチャーがあるとは知らなかった。

酸化シリコンの酸化膜除去が短時間、簡易的に実施可能で重宝している。

センサー表面の有機物除去で使用。
ソフトプラズマ処理なのでセンサー表面を荒らすことなくクリーニングとセンサーの再利用ができている。UVオゾンクリーニングよりも短時間で再現性がよい。

サイズの大きいPDMS接合に有効。接合しづらい角部も再現性高く接合できる。