カタログ

ソフトプラズマエッチング装置 【SEDE】

ホワイトペーパー

液状ポリジメチルシロキサン膜のプラズマ誘起界面架橋とその有機溶媒透過性能

• 　SEDEソフトプラズマエッチング装置は低電流で安定したグロー放電により、極薄膜に対してダメージレスのプラズマ照射を可能にしました。
• さらに、特殊構造の電極構造により平面および高さ方向において広範囲に均一な処理を行うことができるため、試料台の上にサンプルを置いた状態での処理も可能です。

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マニュアル

ソフトエッチング装置【SEDE-PHL】マニュアル

ソフトエッチング装置【SEDE-PFA】マニュアル

ソフトエッチング装置【SEDE-GE】マニュアル

ソフトエッチング装置【SEDEシリーズ】メンテナンス手順マニュアル

Soft Plasma Etching Device【SEDE-P／SEDE-GE】Operation Manual(English)