仕様
各部詳細
SEDE ソフトプラズマエッチング装置 仕様
| 型式 | SEDE-PHL | SEDE-PFA | SEDE-P | SEDE-GE |
|---|---|---|---|---|
| 放電方式 | グロー放電 | |||
| パワー | 3～90W | 3～18W * | ||
| 試料ステージ | φ148 ㎜ | φ80 ㎜ | ||
| 均一照射面積 | 80％ | 55％ | ||
| 領域面積 | 138㎝2 | なし | ||
| 自動モード | なし | あり | なし | |
| 超微調整機能 | あり | |||
| 使用可能ガス | 大気・酸素・アルゴン 他 | |||
| ポンプ容量 | L136 | L136または50L/min | 50L/min | |
| 最大消費電力 | 830 W | 760 W | 740 W | 620 W |
| 設置サイズ | 367×258 ㎜ | |||
| 重量 | 20Kg | 18Kg | 17Kg | 11Kg |
