仕様
DST1-170 高真空スパッタコーター 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | 420 × 620 × 480 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 36 kg |
| 電源 | 220 V-110 V, 50/60 HZ |
| 最大消費電力 | 2,200 W |
| 高精度膜厚モニター | 7インチ対角（16:9）800×480高解像度TFT液晶 |
| サンプル推奨サイズ | 円盤1枚、直径50～56mm、 厚さ0.1～3mm（推奨厚さは1mm未満） |
| サンプルホルダー寸法 ※直径60mm標準ホルダー | 23 × 9.6 mm スタブ 14 × 12.7 mm スタブ 5 × 19 mm スタブ |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
