高真空スパッタコーター(DST1-170)
2インチマグネトロンカソード、
80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター
DST1-170は、90 L /s のターボ分子ポンプ内蔵により、卓上機ながら到達真空度 5.0 × 10-6 Torr （6.7×10-4 Pa）と極めて高真空な環境にしたのちに成膜が可能なスパッタコーターです。
一般的な Ag・Au・Pt/Pd ターゲットのほか、FE-SEMでの需要もある Ir・W・Crなどにも対応し、短時間での薄膜コーティングを実現します。オート成膜機能も搭載しています。
- 高真空ターボポンプ 90L / s（Leybold）
- 精度1nm、分解能1Å の水晶厚モニター
- コーティング速度を制御して、より微細な粒子構造を実現
- 時間と厚さを手動／ 自動設定にて成膜
- 過去 300 回のコーティング履歴の保存
- 電子シャッターを装備
- 交換が容易な試料ステージ（回転ステージを標準装備）
- 2 年間の保証
膜厚計
分解能1Åの水晶振動子式膜厚計を搭載し、膜厚をモニタリングしながらの成膜が可能。
サンプルステージ
標準ステージで、回転・高さ・傾斜を調整可能。プラネタリーオプションも用意。
ターボ分子ポンプシステムにさまざまなラインナップが新登場
グローブボックス用熱蒸着装置付き
複数種の金属膜を積層できるデュアル・トリプルターゲットシステムや、1台でスパッタ・カーボンコーター/熱蒸着装置機能を併せ持つシステム、グローブボックスとのドッキング可能なシステムもラインナップしています。
さまざまな研究ニーズにマッチするご提案が可能なシリーズです。
新設計のサンプルホルダー
最適なギアオフセットを備えた新しい4インチ回転サンプルホルダーが、堆積面積と1回の処理におけるコーティングスタブの数を増やすためにシステム用に設計されています。最大50×1mmスタブにカスタマイズ可能です。
クリーンバキューム
DST1-170には排気速度90 L/sのターボ分子ポンプが内蔵されており、補助ポンプ（バッキングポンプ）として排気量6 m³/hの2段式ロータリーベーンポンプが組み合わされています。これにより、一般的な拡散ポンプで生じがちな油汚染のない、清浄な真空環境を実現します。
