仕様
DST1-170 高真空スパッタコーター 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | 450 × 500 × 370 (mm) ※ターボポンプ除く |
|---|---|
| 重量 | 36 Kg |
| 電源 | 220 -240 V、50 / 60 HZ、16 A |
| 最大消費電力 | 2,200 W |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 蒸着源数 | 1 |
| 到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度：90L / s 到達真空度：7 × 10 -7 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
| 本体サイズ ( H x W x D ) | 450 × 500 × 370 (mm) ※ターボポンプ除く |
|---|---|
| 重量 | 36 Kg |
| 電源 | 220 -240 V、50 / 60 HZ、16 A |
| 最大消費電力 | 2,200 W |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 蒸着源数 | 1 |
| 到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度：90L / s 到達真空度：7 × 10 -7 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
