仕様

DST1-170 高真空スパッタコーター 仕様

本体サイズ ( H x W x D )450 × 500 × 370 (mm) ※ターボポンプ除く
重量36 Kg
電源220 -240 V、50 / 60 HZ、16 A
最大消費電力2,200 W
高精度膜厚モニター
蒸着源数1
到達真空度高真空ターボポンプ使用
ポンプ速度:90L / s
到達真空度:8 × 10 -6 Torr 未満
PC転送USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能

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