仕様
DTT 熱蒸着機 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | 600 × 650 × 500 (mm) |
|---|---|
| 重量 | ～ 60 Kg |
| 電源 | 220 – 240 V、50 / 60 HZ、16 A、0〜100 A DC電源 |
| 最大消費電力 | 3,840 W |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 蒸着源数 | 最大 3 |
| 到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度：90L / sec、350 L/ sec、 到達真空度：7 × 10 -6 Torr、7 × 10 -7 Torr |
| PC転送 | 堆積プロセスデータをUSBポートでPCに転送 |
