熱蒸着機(DTT)

薄膜を真空蒸着するためのターボ分子ポンプ式熱蒸着機

  • 多層サーマルコーティング
  • 大判チャンバー
  • 高真空ターボポンプ
  • 2 段ロータリーベーンパッキングポンプ(4 m3 / h)
  • フルレンジ真空計
  • 多層薄膜堆積のための蒸着源の選択(ボー/バスケット/コイル)
  • リアルタイム膜厚モニタリングシステム(1 nm 精度)
  • 時間と厚さを手動/自動設定にて成膜 
  • 電子シャッターを装備
  • 2 年間の保証

デスクバキュームサーマルコーターであるDTTには、3つの独立した熱蒸着源を取り付けることができます。 蒸着源ホルダーの優れた設計により、原料同士の汚染が発生しません。 ソースホルダーの長さは 5 〜 9cmの範囲で調整できます。

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