熱蒸着機(DTT)

• 多層サーマルコーティング
• 大判チャンバー
• 高真空ターボポンプ
• 2 段ロータリーベーンパッキングポンプ（4 m³ / h）
• フルレンジ真空計
• 多層薄膜堆積のための蒸着源の選択（ボー／バスケット／コイル）
• リアルタイム膜厚モニタリングシステム（1 nm 精度）
• 時間と厚さを手動／自動設定にて成膜 
• 電子シャッターを装備
• 2 年間の保証

デスクバキュームサーマルコーターであるDTTには、3つの独立した熱蒸着源を取り付けることができます。 蒸着源ホルダーの優れた設計により、原料同士の汚染が発生しません。 ソースホルダーの長さは 5 〜 9cmの範囲で調整できます。