仕様
Tennant20 オスミウムコーティングシステム 仕様
| 型式 | Tennant20 | Neoc-Pro | Neoc-STB | Neoc-ST |
|---|---|---|---|---|
| チャンバー寸法 | Φ150 × 70㎜ | |||
| 試料台 装填可能個数 | Φ10 ㎜ × 35 個、Φ15 ㎜ × 10 個、Φ 30 ㎜ × 5 個 | |||
| タッチスクリーン | あり | なし | ||
| 電源オフ真空保持機能 | あり | なし | ||
| 昇華筒開閉検知 | あり | なし | ||
| 自動排気シーケンス | あり | なし | ||
| バッフルバルブ | なし | あり | なし | |
| ポンプ容量 | 50ℓ/min | |||
| 消費電流 | AC 100V 最大10A（真空ポンプの起動含む） | |||
| 重 量 | 22 kg | 16 kg | ||
| 最大消費電力 | 1 kW | 1 kW | ||
| 本体外径寸法 | 390（W）×385（D）×435（H）mm | 340（W）×280（D）×400（H）㎜ | ||
機能仕様
| ベルジャ | 高気密Oリング式 |
| 自動排気 | チャンバー内ガスの大気置換（真空引30秒/ポンプ停止10秒×3回） |
| 電流値設定 | 0.1～20.0mA（制限電流は最大30mA） |
| 膜厚設定 | 0.5nm～ |
| Auto | 膜厚値設定、ループ（積層）回数設定 |
| Manual | COAT時間、電流値、ガス充填時間を任意設定 |
| EJECT | 強制排気 ：180秒 |
| INSERT | 強制排気 ：～2Pa |
| Finish | 強制排気 ：～2Pa |
| アンプル交換 | 強制排気 ：～2Pa + 30分自動排気 |
