ネオオスミウムコータ 【Neoc】低真空SEM観察における、オスミウムコート有用性

近年、低真空SEMと呼ばれる非導電性試料を無蒸着で観察可能な製品が広く使用されるようになり、生物試料や含水試料などでの、無蒸着SEM観察も盛んにおこなわれています。

そこで、無蒸着観察が可能な低真空SEMにおいて、オスミウム蒸着を行ったサンプルを観察した際に、SEM像にどのような変化が生じるか、どのような点が形態観察に寄与するか調査を行いました。