オスミウムコーター 　多結晶薄膜トランジスタにおけるチャネル領域の結晶粒界・方位観察

説明

多結晶薄膜トランジスタにおけるチャネル領域の結晶粒界や方位観察を行うためのSEM観察およびEBSD法の前処理において当社のオスミウムコーターをご活用いただきました。

この研究では、次世代の高速薄膜トランジスタ材料として注目されるゲルマニウム（Ge）を対象に、デバイス性能向上に寄与する結晶粒界や方位の観察が行われています。

オスミウムコーターを用いることで、絶縁基板上のゲルマニウム薄膜をチャージアップさせずに、高精細なSEM像と明瞭なEBSD像を取得することができるようになり、トランジスタ特性とチャネル領域の結晶性をダイレクトに対応づけることができるようになりました。

資料作成協力
筑波大学 数理物理系 環境半導体・磁性体研究室 教授 都甲 薫 様にご協力頂きました。