ソフトプラズマエッチング装置 【SEDE】ナノ流路の電気拡散浸透現象を用いたpHセンサの開発

ダメージレスな表面処理が、分析精度を次のステージへ。

SEDEソフトエッチング装置は、グロー放電方式を用いたダメージレスなプラズマ表面処理を実現します 。特殊な電極構造により広範囲で均一な照射ができるため、サンプルを置いたまま再現性の高い親水化処理が可能です 。本資料では、この技術を活用し、「電気拡散浸透現象」を用いた新型pHセンサの研究成果をご紹介します。