マルチスペクトルエリプソメーター【FS-1】プルロニック系界面活性剤によるフォトレジストの洗浄機構

フォトレジスト膜の洗浄機構の評価をする際、弊社のマルチスペクトル・エリプソメーターが使用された論文をホワイトペーパーとしてまとめました。
環境への影響が少ないフォトレジスト膜の洗浄方法を評価したもので、プルロニック系界面活性剤（F-68）を含む、エチレンカーボネート（EC）・プロピレンカーボネート（PC）と水の混合物を使用して、ITO表面からフォトレジスト膜の除去メカニズムを特徴づけしています。

本ホワイトペーパーの作製にあたり、東京理科大学 創域理工学部 先端化学科 酒井 健一 教授にご協力頂きました。