マイクロカッティングマシン【BS-300CP】SiCの切断事例

SiCは次世代のパワーデバイスとして、脱炭素化や電気自動車(EV)の普及に重要な役割を果たすとして期待されています。
硬質で加工が難しいとされるSiCを、BS-300CP マイクロ・カッティング・マシンで切断した事例をアプリケーションノートとしてまとめました。