よくある質問

電子顕微鏡前処理装置
オスミウムコーティングシステム(Tennant 20)

質問

膜厚とコーティング時間の関係を目安で構わないので教えて頂きたいです。

回答

弊社取り扱いのエリプソメーター「FS-1」で測定し、0.5秒で1nm、10秒で3nmの膜厚レートとなっております。

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