よくある質問

電子顕微鏡前処理装置
オスミウムコーティングシステム(Tennant 20)

質問

EDX分析を行う際、軽元素も検出することができるオスミウム膜の厚みの目安はありますでしょうか。

回答

EDXをはじめ、各種元素分析の前処理では、1nm~3nm程度の膜厚が適正膜厚となります。

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