よくある質問

質問

表面に凹凸があるものや、薄膜中に空隙があるサンプルでも測定できるのでしょうか

回答

ラフネスや薄膜中の空隙(%Void)を考慮した解析モデルもございますので計測可能です。
表面に凹凸があるサンプルについては、ラフネスが計測ターゲット薄膜の10%以内に収まっていることが理想的です。

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