よくある質問

マルチスペクトル・エリプソメーター（FS-1）
エリプソメーター

質問

in-situ測定では、成膜チャンバの窓材が測定器と測定対象膜との間に挿入されることになりますが、窓材における反射や屈折は測定に影響しないのでしょうか。

回答

in situの窓材が測定に影響しないように、サンプル測定前に行うキャリブレーションによって屈折率や消衰係数を補正致します。

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