よくある質問

マルチスペクトル・エリプソメーター（FS-1）
エリプソメーター

質問

測定しているのはサンプルのどの程度の面積の膜厚ですか

回答

ex situモデルは4x9mmスポットの膜厚を示しています。
オプションのフォーカスレンズを使用することで最小0.3×0.7mmまで絞ることが可能です。

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