よくある質問

マルチスペクトル・エリプソメーター（FS-1）
エリプソメーター

質問

金属膜も測れますか？

回答

金属膜も薄ければ測定することができます。一般的な金属の場合、膜厚50nm未満であれば測定可能です。
これはFS-1に限らず、光学計測する装置であれば同じです。

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