よくある質問

マルチスペクトル・エリプソメーター（FS-1）
エリプソメーター

質問

多層膜の場合、同時に何層の膜厚が計測可能ですか？

回答

光学定数が既知のサンプルの場合、最大4層まで計測が可能です。

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