よくある質問

電子顕微鏡前処理装置
オスミウムコーティングシステム(Tennant 20)

質問

例えば仮に100ナノメートルの繊維径の繊維があったとして、そこにPtコーティングで20nmの膜厚でコートしたとすると、電顕画像上では、120～140nm程度の太さに見えるものなのでしょうか？オスミウムコートでは、1nmの膜厚でコートしたとすると、101～102nmぐらいの繊維に見えて、 Ptコートより細く、実際の繊維径に近い状態で観察できると考えて良いのでしょうか？

回答

仰る通りとなります。
しかし、オスミウムコーターであれば膜厚のコントロールが容易に可能で、不均一な大きさの粒子が発生する
スパッタコーターと違い、どれだけの膜厚がサンプルについているかを推定しやすいこともメリットとなります。