熱蒸着機付き 卓上パルスレーザーデポジションシステム (PLD-T)
パルスレーザー成膜と熱蒸着技術の両立による高真空薄膜蒸着システム
- 回転速度を調整できるターゲットマニピュレーター
- 3つの熱源
- リアルタイム膜厚計（精度1 nm）
- 直感的なタッチスクリーン
- ネットワーク経由で更新できるユーザーフレンドリーなソフトウェア
- 回転式サンプルホルダー
- 電子シャッター
- 500℃の基板ヒーター
- 2年間の保証
ターゲットマニピュレーター
PLD-Tには、直径2cmの3つのターゲットを含むマルチターゲットマニピュレーターが装備されています。ターゲットは標準サイズです。すべてのターゲットマニピュレーターは電動式で、ターゲットの回転が含まれています。
