オプション

エリプソメーターでは、各波長に対しプサイ(Ψ)とデルタ(Δ)の2つのパラメータしか測定できませんが、解析では屈折率 (n)、消衰係数(k)、膜厚(t)の3つのパラメータが必要です。従来は、同じ材料で膜厚が異なる複数のサンプルをマルチサンプル解析していますが、「液体セル」を使用することで、1つのサンプルでも「大気環境」と「溶液環境」の2環境条件でマルチサンプル解析をすることができるようになりました。

特に非常に薄い膜では、膜厚と屈折率が相関することは良く知られていますが、空気と溶液中のエリプソメトリー測定を組み合わせることで、この相関関係を解消することができ、非常に薄い膜でも正確な屈折率決定が可能となります。

※液体セルを使用する際は、マッピング測定ではなく、1点測定時にのみ使用できます。

液体セルを利用した薄膜計測

マルチスペクトルエリプソメーターの液体セルの性能と機能について紹介しています。液体セルを用いたアプリケーションは他にもありますが、このホワイトペーパーでは以下の2つの古典的なエリプソメトリック測定の問題に焦点を当てます。

1.10nm未満の透明膜の膜厚と屈折率の測定
2.吸収薄膜の膜厚とn&kの決定

Siウエハー上の自然酸化膜とTiN膜の測定事例と合わせてご紹介致します。