多機能ダイヤモンドワイヤーソー (DWS 3500P)
乾式カット可能なダイヤモンドワイヤーソー
全固体電池・積層セラミックコンデンサー等の断面出しに最適!
構造評価、不良解析に最適!
▶ しかし、弊社のダイヤモンドワイヤーソーは、グローブボックス内で大気非曝露での使用が可能で、
水を使用せず、ドライで精密に切断することが出来る装置です。
グローブボックス内で使用できます
従来は通常モーターにより、電源投入時に内部でスパークが発生することがあり、グローブボックス内などでの使用ができませんでした。しかし、新たなワイヤーソーでは特殊電子モーターを採用したことにより、グローブボックス内での使用が可能になり、リチウム電池や特殊試料の切断が容易に行えます。
タッチスクリーンによる簡単制御
アナログからデジタル制御に移行し、操作性が向上いたしました。
スクリーンでは稼働積算時間から本体の位置がどこにあるのか、ワイヤーのスピード、荷重が確認できるようになり、再現性のある切断が可能になりました。
切断間際50μmを狙って切り出せます
実体顕微鏡搭載で正確な位置合わせ
従来の切断機と違い、切断部位を確認することができ、非常に精密な位置合わせをすることができます。
異物解析や不良解析など切断したい位置を正確に捉えます。
マイクロスコープ搭載で数十μmの局所切断
デジタルマイクロスコープなどのより高倍率な顕微鏡で位置合わせをすることも可能になりました。試料表面の微細なパターニングを確認して切断できます。
※最小、最大倍率はマイクロスコープの仕様により異なりますのでご相談下さい。
断面粗さは5μm以内、大幅な処理工程の時間を短縮
ワイヤードラムの1回転の送り量とドラムねじピッチの均等移動
10mのつなぎ目のないワイヤーを巻き取りドラムで往復させながら切断します。
ワイヤードラム1回転の送り量とワイヤードラムのねじピッチが精密に計算された設計で、ドラム1回転ごとにねじが1ピッチ移動します。このため、ドラムの往復運動中もワイヤーの位置は常に定位置に維持されます。さらに下部のウエイトでワイヤーテンションを強く保持することによって、ワイヤーのブレがなく、カッティングロスもほとんどありません。
アングルセンサー搭載により荷重の再現性を実現
試料への荷重方法は自重スライド方式で、試料への負担を最小限に抑えます。
装置内部に実装されているアングルセンサーで装置の傾きを検知し、相対的に負荷を確認することができ、再現性の高い切断を可能にしました。
つなぎ目のないワイヤーを使用しているので、つなぎ目による試料へのダメージがなく、つなぎ目からワイヤーが容易に切れてしまうこともありません。
多層膜試料、硬さの異なる試料などの複合材料でも割れやクラックなく切断できます。
ドライカットで酸化しやすい試料に最適
10mの長いワイヤーを使用することにより、切断時の熱を水の使用なしで放出しやすく、切断屑もたまりにくくなっており、ドライでの切断ができます。酸化しやすい試料、水や油で変性してしまう試料の切断に最適です。
複合材料・せんべい・ウエハー状の菓子・岩石・錠剤など様々な試料の切断実績がございます。
近接センサーによる終了位置の簡単設定
マイクロスイッチによる終了検知から近接センサーによる終了検知に変わり、ワイヤーの場所がどこにあるのかを確認することができるようになりました。これにより、困難であった切れ込み深さの設定が可能です。
※ただし、サンプル切断で一定の負荷がワイヤーにかかりますので厳密に切れ込み深さを設定するものではありません。
CP/断面ミリングの前処理装置に
専用ホルダーで切断後、CP/イオンミリングホルダーへの固定を行い、処理工程をスムーズに進めることができます。
その他の試料台固定も作製できますのでご相談ください。