仕様
DSCT-T スパッタコーター・カーボン/熱蒸発装置 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H540 × W500 × D450 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 46 Kg |
| 電源 | 220/110 V、50/60 HZ – 2 kW |
| 真空チャンバー | 外径170mm×高さ140mm |
| 到達真空度 | 8 x10-6 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートで堆積プロセスデータをPCに転送可能 |
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H540 × W500 × D450 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 46 Kg |
| 電源 | 220/110 V、50/60 HZ – 2 kW |
| 真空チャンバー | 外径170mm×高さ140mm |
| 到達真空度 | 8 x10-6 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートで堆積プロセスデータをPCに転送可能 |
