スパッタコーター・カーボン/熱蒸着装置(DSCT-T)

金 、プラチナ/パラジウム合金、銀、クロム、タングステン、イリジウムなどのさまざまな酸化/非酸化材料の堆積に

• 内蔵ターボ分子ポンプ90 L/s による高真空レベル (Leybold)
• 2段ロータリーベーンバックポンプ（ダイヤフラムおよびスクロールポンプ）
• 1 nmの精度と1 Åの分解能を備えた水晶厚さモニター
• スパッタリング用80W DCスイッチング電源
• カーボンファイバー蒸発ヘッド
• 2年間の保証
• CE適合性

さまざまな薄膜アプリケーションに関する研究分野に

スパッタコーターおよびカーボン/熱蒸着装置 – DSCT-T は、3つの交換可能なヘッドを備えたスパッタコーター、カーボンコーター、熱蒸着装置として 1 つの装置に構成されており、走査型電子顕微鏡 ( SEM )サンプルの準備や、金 (Au)、プラチナ/パラジウム (Pt/Pd) 合金、銀 (Ag)、クロム (Cr)、タングステン (W)、イリジウム (Ir) などのさまざまな酸化/非酸化材料( 堆積材料表 ) の堆積、および電子顕微鏡画像化やその他の用途のために非導電性または導電性の低い表面を持つサンプルにコーティングするための金属やカーボンファイバー/ロッドなどのさまざまなソースの熱蒸発に適しています。

さらに、サーマルヘッドはTEMおよびSEMの開口部のクリーニングにも使用できます。ターボ分子ポンプを備えたこの高真空SEMコーターは、 FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSDなどの高解像度と高品質の特性評価が求められる試料に適した、微粒子サイズの高品質で均一なフィルムを提供します。

2 インチのマグネトロンカソードを備えたスパッタコーターおよびカーボン/熱蒸着装置である DSCT-T には、スパッタリング用の高電圧スイッチング DC 電源と、カーボン蒸発および熱蒸着用の高電流電源が付属しており、マイクロおよびナノエレクトロニクスやサンプル準備などのさまざまな薄膜アプリケーションに関する研究分野に使用できます。

水冷カソード

水冷カソードを装備できるため、長時間のスパッタリング堆積に適しています。また、DSCT-Tには 160 W電源を装備できるため、クロム、タングステン、その他の酸化金属ターゲットなどのターゲットのスパッタリングが容易になります (オプション)。
全自動スパッタリングおよびカーボンコーティングプロセスにより、簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンスが実現します。このモデルの基板の最大サイズは 4 インチです。

炭素蒸着

ミニサイズのコーティング システムモデル DSCT-T、熱蒸着器付きDSCT は、カーボン ファイバーまたはカーボン ロッド (オプション) を使用して、さまざまな表面にカーボン層をコーティングし、均一な薄膜を生成できます。

選択可能なオプション機能

【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。

【カーボンロッド蒸着（オプション）】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸発着に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ～ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション

熱蒸着

スパッタコーターおよびカーボン/熱蒸着装置である DSCT-T には、金、アルミニウム、銀などの蒸発温度が低い金属の蒸発や TEM アパーチャのクリーニング用のサーマルヘッドが装備されています。

長さ 4 ～ 10 cm の熱源 (ボートまたはバスケット) を 1 つ、熱蒸発ヘッドに取り付けることができます。サンプル ホルダーからの熱源の高さは調整可能です。熱蒸着は、金属フィルム、薄膜センサー、光学部品、ナノおよびマイクロ電子デバイス、太陽電池の製造など、幅広い用途に使用できます。

クリーンバキューム

真空チャンバーは円筒形のパイレックスです。
内部に 90 L/s ターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m ³ /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。※オプション
これにより、通常の拡散ポンプで通常発生するオイル汚染のないクリーンな真空が得られます。

カラータッチスクリーンコントロール

自動制御とデータ入力を備えており真空およびコーティングシーケンス情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。

サンプルホルダー

ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダーを装備できます。
標準サンプル回転ホルダーは、回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
世界的なサンプルホルダーは、多孔質試料の均一なコーティングに適しています。※オプション

新しい 4 インチ回転サンプルホルダーは、システム用に設計されており、堆積領域と実行時のコーティング スタブの数を増やします (最大 50 × 1 mm スタブにカスタマイズ可能) 。

　　　　　　　標準サンプルホルダー　　　プラネタリー サンプルホルダー　4インチ回転サンプルホルダー