ターボポンプ式カーボンコーター熱蒸着装置(DCT-T-300)

FE-SEM、EDS /WDS、TEM、EBSD 分析、薄膜アプリケーション用のサンプル準備に

ターボポンプ式カーボンコーター熱蒸発装置(DCT-T-300)
  • 大型チャンバーを備えたターボポンプ式
    カーボンコーターおよび熱蒸着器
  • ターボポンプ内蔵による高真空レベル(ライボルト)
  • 時間と厚さを手動/自動設定にて成膜可能
  • 交換が容易な試料ステージ(回転ステージを標準装備)
  • 2年間の保証
  • CE適合性

高解像度と高品質の特性評価を必要とする試料に

ターボポンプ式カーボンコーター熱蒸着装置(DCT-T-300)は、大型チャンバーを備えたターボポンプ式カーボンコーターおよび熱蒸着器で、 FE-SEM、EDS /WDS、TEM、EBSD 分析、薄膜アプリケーション用のサンプル準備に最適です。この高真空コーターは、高解像度と高品質の特性評価を必要とする試料に適した、微粒子サイズの高品質で均一なカーボンおよび金属フィルムを提供します。

直径 300 mm の円筒形チャンバーを備えたDCT-T-300 は、最大直径 15 cm のサンプルまたは複数の小さな標本への長期堆積を可能にします。全自動のプログラム可能なカーボン コーティング プロセスにより、 簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンスが実現します。

低融点材料を上向きまたは下向きの 2 方向に熱蒸着させ、熱源から基板までの距離を調整できることは、このコーティング マシンのもう 1 つの有利な特徴です。

パルスカーボンファイバーとカーボンロッド蒸発

パルスカーボンファイバーとカーボンロッド蒸発

【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。

パルスカーボンファイバーとカーボンロッド蒸発

【カーボンロッド蒸着(オプション)】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸着用に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ~ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション

熱蒸発

熱蒸発

DCT-T-300 には、さまざまな熱蒸着アプリケーションに適した高電流電源と低電圧 (抵抗)熱蒸着プラットフォームが装備されています。

このシステムでは、基板上にさまざまな材料を制御された熱蒸着できます。
単一の熱源ホルダーに、さまざまな種類の熱蒸着源 (ボート、バスケット、コイル) を取り付けることができます。

クリーンバキューム

クリーンバキューム

内部にターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m 3 /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。※オプション

これにより、通常の拡散ポンプで通常発生するオイル汚染のないクリーンな真空が得られます。

カラータッチスクリーンコントロール

カラータッチスクリーンコントロール

自動制御とデータ入力を備えており、真空、電流、堆積の情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。

サンプルホルダー

ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダーを装備できます。
標準サンプルホルダーは回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
プラネタリー サンプルホルダーは、多孔質試料の均一なコーティングに適しています。※オプション
大きなサンプルに堆積する場合は、6 インチの回転可能なサンプルホルダーが推奨されます。※オプション

サンプルホルダー

    標準サンプルホルダー     プラネタリー サンプルホルダー    6インチ回転サンプルホルダー

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