ターボポンプ式カーボンコーター熱蒸着装置(DCT-T-300)
FE-SEM、EDS /WDS、TEM、EBSD 分析、薄膜アプリケーション用のサンプル準備に
- 大型チャンバーを備えたターボポンプ式
カーボンコーターおよび熱蒸着器 - ターボポンプ内蔵による高真空レベル（ライボルト）
- 時間と厚さを手動／自動設定にて成膜可能
- 交換が容易な試料ステージ（回転ステージを標準装備）
- 2年間の保証
- CE適合性
高解像度と高品質の特性評価を必要とする試料に
ターボポンプ式カーボンコーター熱蒸着装置(DCT-T-300)は、大型チャンバーを備えたターボポンプ式カーボンコーターおよび熱蒸着器で、 FE-SEM、EDS /WDS、TEM、EBSD 分析、薄膜アプリケーション用のサンプル準備に最適です。この高真空コーターは、高解像度と高品質の特性評価を必要とする試料に適した、微粒子サイズの高品質で均一なカーボンおよび金属フィルムを提供します。
直径 300 mm の円筒形チャンバーを備えたDCT-T-300 は、最大直径 15 cm のサンプルまたは複数の小さな標本への長期堆積を可能にします。全自動のプログラム可能なカーボン コーティング プロセスにより、 簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンスが実現します。
低融点材料を上向きまたは下向きの 2 方向に熱蒸着させ、熱源から基板までの距離を調整できることは、このコーティング マシンのもう 1 つの有利な特徴です。
パルスカーボンファイバーとカーボンロッド蒸発
【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。
【カーボンロッド蒸着（オプション）】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸着用に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ～ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション
熱蒸発
DCT-T-300 には、さまざまな熱蒸着アプリケーションに適した高電流電源と低電圧 (抵抗)熱蒸着プラットフォームが装備されています。
このシステムでは、基板上にさまざまな材料を制御された熱蒸着できます。
単一の熱源ホルダーに、さまざまな種類の熱蒸着源 (ボート、バスケット、コイル) を取り付けることができます。
クリーンバキューム
内部にターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m 3 /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。※オプション
これにより、通常の拡散ポンプで通常発生するオイル汚染のないクリーンな真空が得られます。
カラータッチスクリーンコントロール
自動制御とデータ入力を備えており、真空、電流、堆積の情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。
サンプルホルダー
ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダーを装備できます。
標準サンプルホルダーは回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
プラネタリー サンプルホルダーは、多孔質試料の均一なコーティングに適しています。※オプション
大きなサンプルに堆積する場合は、6 インチの回転可能なサンプルホルダーが推奨されます。※オプション
標準サンプルホルダー プラネタリー サンプルホルダー 6インチ回転サンプルホルダー
