ターボポンプカーボンコーター(DCT)

FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSD、薄膜アプリケーションに

• 内蔵ターボポンプによる高真空レベル90 L/s (Leybold)
• 2段ロータリーベーンバックポンプ（ダイヤフラムまたはスクロールポンプ）
• 1 nmの精度と1 Åの分解能を備えた水晶厚さモニター
• 自動排気弁
• 交換が容易な試料ステージ（回転ステージを標準装備）
• 2年間の保証
• CE適合性

選択可能なオプション機能

【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。

【カーボンロッド蒸着（オプション）】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸着用に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ～ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション

カラータッチスクリーンコントロール

自動制御とデータ入力を備えており真空およびコーティングシーケンス情報は、タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。

サンプルホルダー

ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダーを装備できます。
標準サンプルホルダーは、回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
プラネタリー サンプルホルダーは、多孔質試料の均一なコーティングに適しています。※オプション

新しい 4 インチ回転サンプル ホルダーは、システム用に設計されており、堆積領域と実行時のコーティング スタブの数を増やします (最大 50 × 1 mm スタブにカスタマイズ可能) 。

　　　　　　　標準サンプルホルダー　　　プラネタリー サンプルホルダー　4インチ回転サンプルホルダー

クリーンバキューム

真空チャンバーは円筒形のパイレックスです。
内部に 90 L/s ターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m ³ /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。※オプション
これにより、通常の拡散ポンプで通常発生するオイル汚染のないクリーンな真空が得られます。