FIBの保護膜として厚く膜を着けなければいけないが、一度のコーティングで十分な厚膜を積むことができるため非常に重宝している。

これまでカーボンコートを行うまで1時間程度準備に時間がかかっていたが、数分でコーティングが終わるため時間効率が格段に上がった。

元素分析の際に原因不明の元素のピークが出ていたが、純度の高い炭素膜を着けることができるのでこれまでの問題は発生しなくなった。

蒸着源と試料ステージの間隔を可変できるので熱のダメージを受けやすい薄膜（ポリマーフイルム）に製膜しても影響が出ない。