仕様
| 型式 | マルチスペクトル・エリプソメーター 全自動マッピングシステム（FS-RT300） |
|---|---|
| 光源 | LED |
| 使用波長 | 370、450、525、595、660、735、850、950（nm） |
| 精度 (Precision) | 0.001nm ＊Si基板上の自然酸化膜をデータ取得レート1秒で測定時 |
| 最大データ取得レート | 1.7ms（Fast Mode使用時） |
| 入射角 | 65° |
| サンプルサイズ | Φ300mm |
| 照射サイズ | 0.8 x 1.9㎜ ＊その他オプション有 |
| 設置サイズ / 重量 | W400×D500㎜ / 25㎏ |
| 電源 | AC100V 1.7A |
| 消費電力 | 170W |
| 標準付属品 | 回転自動ステージ ・移動距離 直線方向：150mm 分解能：12μｍ 回転方向：360° 分解能：0.05° ・ウェハーマッピング時間：150秒(49点測定) |
