仕様
DTE 高真空熱蒸発器 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H500 × W450 × D450 (mm) ラックなし |
|---|---|
| 重量 | 30 Kg (バックアップポンプを除く) |
| 電源 | 220/110 V、50/60 HZ – 1.2 kW |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 真空チャンバー | 外径170 mm x 高さ140 mm |
| 到達真空度 | 8 x 10-6 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートで堆積プロセスデータをPCに転送可能 |
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H500 × W450 × D450 (mm) ラックなし |
|---|---|
| 重量 | 30 Kg (バックアップポンプを除く) |
| 電源 | 220/110 V、50/60 HZ – 1.2 kW |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 真空チャンバー | 外径170 mm x 高さ140 mm |
| 到達真空度 | 8 x 10-6 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートで堆積プロセスデータをPCに転送可能 |
