高真空熱蒸着器(DTE)
貴金属や酸化金属の短時間堆積に最適
- 基板上に薄い層の材料を堆積するデスクトップ熱蒸着器システム
- DC大電流電源（最大12V、100A）
- 直径170 mmのホウケイ酸SST真空チャンバー
- 内蔵ターボポンプによる高真空レベル（Leybold 90 l/s）
- 2段ロータリー（オプションのダイヤフラムまたはスクロール）バックアップポンプ
- リアルタイム厚さ測定用水晶モニタリングシステム（1nm精度）
- 2年間の保証
- CE適合性
サンプル蒸着実験に適した材料蒸着器
高真空熱蒸着器(DTE)は、研究目的や電子顕微鏡による調査のために基板上に薄い層の材料を堆積するデスクトップ熱蒸発器システムです。サンプル蒸着実験に適した材料蒸着器として構成されており、低予算、小型チャンバー、高真空システムは、貴金属や酸化金属の短時間堆積に最適です。
熱蒸発
さまざまな熱蒸着アプリケーションに適した高電流電源と低電圧 (抵抗) 熱蒸着プラットフォームが装備されています。
スパッタコーティングシステムにより、基板上にさまざまな材料を制御された熱蒸着できます。単一の熱源ホルダーに、さまざまな種類の熱蒸着源 (ボート、バスケット、コイル) を取り付けることができます。
クリーンバキューム
内部に 90 L/s ターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m 3 /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。※オプション
カラータッチスクリーンコントロール
真空およびコーティング シーケンス情報は、タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。
サンプルホルダー
DTE 蒸着システムは、上向きおよび下向きの構成で金属の蒸着を可能にします。
- 上向き堆積: 材料はボート ソースにロードされ、サンプルはチャンバーリードの S クリップに取り付けられ、簡単にアクセスできるようになります。
- 下向き堆積: ベースプレート上の回転サンプルホルダー (オプション) を使用して、少量の目的の材料をバスケットにロードします。
