仕様

DST3-T スパッタコーター熱蒸着装置 仕様

本体サイズ ( H x W x D )H770 × W600 × D800 (mm) (ラック含まず)
重量160 Kg(ポンプ、ラック、計器ケースを含む)
電源220-110 V、50/60 HZ – 3kW
最大ターゲット厚さ6mm(バッキングプレートを含む)
PC転送USBポートからプロセスデータをPCに転送可能 

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