仕様
DST3-T スパッタコーター熱蒸着装置 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H770 × W600 × D800 (mm) (ラック含まず) |
|---|---|
| 重量 | 160 Kg(ポンプ、ラック、計器ケースを含む) |
| 電源 | 220-110 V、50/60 HZ – 3kW |
| 最大ターゲット厚さ | 6mm（バッキングプレートを含む） |
| PC転送 | USBポートからプロセスデータをPCに転送可能 |
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H770 × W600 × D800 (mm) (ラック含まず) |
|---|---|
| 重量 | 160 Kg(ポンプ、ラック、計器ケースを含む) |
| 電源 | 220-110 V、50/60 HZ – 3kW |
| 最大ターゲット厚さ | 6mm（バッキングプレートを含む） |
| PC転送 | USBポートからプロセスデータをPCに転送可能 |
