トリプルターゲットスパッタコーター(DST3)
熱蒸着器とスパッタコーターを 1 つにし、さまざまな材料の蒸着に
- ターボポンプ内蔵で高真空レベル
- 2段ロータリーベーンバックアップポンプ
- 金属、半導体、誘電体に適したDCおよびRF電源※オプション
- DST3-S用大型サンプルホルダーステージ（8インチ）
- リアルタイムの厚さ測定用の2つの水晶センサー（精度1nm）
- 真空圧力とAr流量または反応性スパッタリングガスを細かく制御
- 2年間の保証
- CE適合性
DCおよびRF（オプション）電源
トリプルターゲットスパッタコーター(DST3)には、DCおよびRF（オプション）電源が装備されています。半導体、誘電体、金属（酸化および貴金属）ターゲット（堆積テーブル）をスパッタできます。自動調整マッチングボックスが装備されており、 RFスパッタリングプロセスでの反射電力を最小限に抑えます。
このモデルには、堆積プロセス中に基板を加熱するための 500 ℃ヒーターを設置したり、基板に300 V DC バイアス電圧を印加したりするなど、コーティングされたフィルムの基板への接着性を高め、フィルム構造を改善するためのオプション機能が含まれています。
トリプルターゲット、ターボ分子ポンプ、真空コーティング
トリプルターゲットスパッタコーター(DST3)は、トリプルターゲット、ターボ分子ポンプ、真空コーティング システムです。幅広い材料の蒸着に適しています。大型チャンバー (直径 300 mm) と 3 つの 2 インチ直径の水冷カソードが装備されており、長時間の蒸着に適しています。
2 つのモデル
DST3 – TA (角度付きカソード)
共通の焦点を持つ3つの角度付きカソードが装備されています。スパッタコーターシステムは、2つまたは 3つ (オプション) のターゲットを同時にまたは独立してスパッタリングし、それぞれ合金または多層堆積を形成できます。
DST3 –TS (ストレートカソード)
3つの直線 2インチ水冷カソードが装備されています。直径最大 20 cm の単一の大型試料または複数の小型試料をスパッタリングするのに適しています。
クリーンバキューム
内部に 90 L/s ターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m 3 /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。
外径 300 mm、高さ 200 mm (高さ 250 mm まで調整可能) の円筒形パイレックスです。
これにより、拡散ポンプで通常発生するオイル汚染のないクリーンな真空が得られます。
カラータッチスクリーンコントロール
真空およびコーティング シーケンス情報は、は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
パネル ウィンドウは、Wi-Fi 接続を介してPC でも利用できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。
サンプルホルダー
3インチ (DST3-TA および DST3-TS で利用可能) と8インチ (DST3-TSで利用可能) の2つのサイズです。
小さなサンプルホルダーには、回転中に簡単な方法で小さなサンプルを保持するためのSクランプがいくつか作成されています。
プラズマ処理（プラズマクリーナーオプション）
オプションとしてプラズマクリーナーを装備できます。プラズマと呼ばれるイオン化ガスを使用して基板の表面から有機物を除去し、基板を機能化するプロセスです。
基板表面の濡れ性を変更し、親水性または疎水性を高めて、その後の堆積を効果的に行うことができます。また、薄膜堆積前に基板にプラズマを適用すると、表面汚染 (C ベース、酸化物) が除去され、基板と後続の層との接着性が向上します。
